干涉法检测表面平整度,请解释以下它的原理,要详细,谢了
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上一块光洁度高的板的下表面与待测面之间的空气层形成薄膜干涉.若待测面光洁度高,在上板观测到的亮线与暗线平行.若待测面有突起,此处对应的光程差小于此点未突起时的光程差,所以这点的光程差与靠近劈尖的尖部某点的光程差相同,所以这点未突起时对应条痕若是亮的,现在就变暗(若原是暗的,现在就变亮),所以这点对应的条痕弯向劈尖厚部.同样分析,可知这点凹陷时,条痕弯向劈尖尖部.最好去请教你的物理老师,他(她)应该会讲得很清楚,自己看参考书挺费解的.