镀膜过程中不改变流量比如何控制工作总气压
镀膜过程中不改变流量比如何控制工作总气压
如果是说镀膜时为了调节压力使用的气体个人认为如下：氩气如果只是调节压力，一次压可以不计，但是二次压要小于0.5个大气压。氮气也是，主要是因为如果大了，会导致真空仓内的压力变化太剧烈，导致误差。如果是使用离子源，那么氩气入气量不宜过大，大了导致离子量过大，烧坏部件。压力和上边没什么差别。