XY运动平台分别用两个直线电机来驱动，重复定位精度为??3um,?
XY平台分别用两个直线电机来驱动，重复定位精度为??3um,现在是怎么调试和修改结构，都无法满足这个精度，考虑到是不是没有遵循机械平衡，可是设计的时候都是按照各个机构的质心去设计的，请求各位学长赐教。
电机本身的功能是否一至？ 一般分段测量30次，并重复测量多次。将数据对比看问题出在哪个位置， 将测量数据用六西格玛分析表来审核比较能分析出点问题。